| 品牌 | 格里爾斯 | 型號 | 5911D4 |
| 貨號 | GRY310MC | 原理 | 質量流量計 |
| 用途 | 氣體流量計 | 公稱通徑 | 6mmmm |
| 工作溫度 | -20-60℃ | 測量范圍 | 0-10SCCMm3/h |
| 精度等級 | 0.2%RD | 測量精度 | 0.2%RD |
| 安裝形式 | 軟管連接 | 重量 | 1kg |
| 規格 | 熱式 |
江蘇模擬量液體流量計5920DD4
質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器
江蘇模擬量液體流量計5920DD4
主要技術指標
1
| 量程范圍
| ?。?~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM ?。?~1,2,3,5,10,50,100,200,500...3000） SLM
|
2
| 準確度
| ±1%F.S ±0.5%F.S
|
3
| 線性
| ±0.5~1.5%F.S
|
4
| 重復精度
| ±0.2%F.S
|
5
| 響應時間
| 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec
|
6
| 工作壓差
| 0.1~0.5MPa
|
7
| 耐壓
| 3MPa
|
8
| 工作環境溫度
| 0~70℃
|
9
| 數字量
| RS485 MODBUS協議
|
10
| 模擬量
| DC 0~5V ，4~20mA 可選
|
11
| 供電
| DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA
|
12
| 電氣連接
| DB15
|
13
| 漏率
| 1×10-8SCCSHe
|
14
| 底座材質
| 316L不銹鋼
|
15
| 密封材質
| 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
|
16
| 氣路接頭
| Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
|
江蘇模擬量液體流量計5920DD4
氣體質量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司獨特的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內。
一般情況下，由于傳感器設置的場所并非理想，在溫度、濕度、壓力等效應的綜合影響下，可引起傳感器零點漂移和靈敏度的變化，已成為使用中的嚴重問題。雖然人們在制作傳感器過程中，采取了溫度補償及密封防潮的措施，但它與應變片、粘帖膠本身的高興能化、粘帖技術的和熟練、彈性體材料的選擇及冷、熱加工工藝的制定均有密切的關系，哪一方面都不能忽視，都需精心設計和制作。同時，還須注意傳感器的安裝方法，支撐結構的設置，如何克服橫向力等問題。
