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青海模擬量液體流量控制器5930D4

 
 
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品牌 格里爾斯
型號 5950DD4
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更新 2023-04-27 20:26
 

晟旗科技有限公司

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詳細說明
品牌

格里爾斯

型號

5950DD4

貨號

GRY310MC

原理

質量流量計

用途

氣體流量計

公稱通徑

6mmmm

工作溫度

-20-60℃

測量范圍

0-20SCCMm3/h

精度等級

0.5%RD

測量精度

0.5%RD

安裝形式

軟管連接

重量

1kg

規格

熱式

  青海模擬量液體流量控制器5930D4


  質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括:電子工藝設備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器

  青海模擬量液體流量控制器5930D4


主要技術指標

  1

  

  量程范圍

  

 ?。?~5,10,20,30,50,100,200,300,500...)SCCM

 ?。?~1,2,3,5,10,50,100,200,500...3000) SLM

  

  2

  

  準確度

  

  ±1%F.S ±0.5%F.S

  

  3

  

  線性

  

  ±0.5~1.5%F.S

  

  4

  

  重復精度

  

  ±0.2%F.S

  

  5

  

  響應時間

  

  電特性:10sec 氣特性:(1~4)sec

  

  6

  

  工作壓差

  

  0.1~0.5MPa

  

  7

  

  耐壓

  

  3MPa

  

  8

  

  工作環境溫度

  

  0~70℃

  

  9

  

  數字量

  

  RS485 MODBUS協議

  

  10

  

  模擬量

  

  DC 0~5V ,4~20mA 可選

  

  11

  

  供電

  

  DC +15V/24V 可選,流量計<400mA,控制器<600mA

  

  12

  

  電氣連接

  

  DB15

  

  13

  

  漏率

  

  1×10-8SCCSHe

  

  14

  

  底座材質

  

  316L不銹鋼

  

  15

  

  密封材質

  

  氟橡膠,丁晴橡膠,氯丁橡膠

  

  16

  

  氣路接頭

  

  Φ3,Φ6,Φ10,1/8〞,1/4〞,3/8〞

  

  青海模擬量液體流量控制器5930D4


  氣體質量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司獨特的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器,能自動校正溫度及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數值,然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器(RTD)。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上,牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內。




  ITECH款雙極性電源IT64215年上市后,即得到廣泛好評。作為一款雙極性電源/電池模擬器,IT64特有的雙極性電壓/電流輸出,可用作雙極電源或雙極電子負載,廣泛應用在便攜式電池供電產品、移動電源、LEIC半導體、物聯網等測試領域。一轉眼4年過去,一起來盤點IT64經典應用案例。1電池測試——鋰電池充放電循環測試鋰離子電池的充電過程為先恒流充電,到接近終止電壓時改為恒壓充電,且要保證終止電壓精度在1%之內。

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