Setra

西特

217

超高純壓力變送器

　　Setra 217 型壓力變送器專為模塊式 “Block” 氣體棒和面板設計，非常適合惡劣環境（例如冷氣流導致的溫度瞬變下的壓力測量應用于·模塊式“Block”氣體棒和面板·高純度氣體輸送系統半導體過程工具。

常用型號

　　217G025PGE11106J 217G050PGE11106J 217G250PGE11106J 217G500PGE11106J 217G1000PGE11106J 217G2000PGE11106J 217G3000PGE11106J

　　217G0R7BGE11106J 217G3R4BGE11106J 217G017BGE11106J 217G007BGE11106J 217G035BGE11106J 217G138BGE11106J

　　特性

　　·316 L VIM/VAR 不銹鋼

　　·表面拋光度 7 Ra

　　·1×10-9 級別的氨滲漏實驗

　　·出色的穩定性，避免停機

　　·可選帶 C 型或 W 型密封的壓力端口

　　·抗電磁干擾 / 射頻干擾，可防止誤停機

　　·易于吹掃

　　·符合 CE 和 RoHS 標準要求

　　應用

　　·模塊式“Block”氣體棒和面板

　　·高純度氣體輸送系統

　　·半導體過程工具

　　217 型壓力變送器可選帶 C 型或 W 型密封的朝下安裝的壓力

　　端口，帶有易于吹掃的小型傳感器腔室。所有接液部件均采

　　用 VIM/VAR316L 不銹鋼制造，且表面鈍化拋光至 5 Ra（蕞

　　大 7 Ra），確保表面平整且耐化學腐蝕，實現無污染氣體輸送。

　　每個傳感器都采用質譜儀進行了 1 x10-9 級別的

　　氦滲漏試驗。

　　217 型壓力變送器可選 5VDC、 10VDC 或 4-20mA 三種

　　輸出類型，并提供多種標準電氣接口。頂部外側帶有零點

　　和量程調整裝置，進一步體現了獨特設計，適合所有朝下

　　安裝的 UHP（超高純）壓力測量應用。 217 型同時也是

　　一款獲磚利的可變電容傳感器，采用 316L不銹鋼隔膜和

　　絕緣電極板，可變電容在傳感器本體與電極板之間形成。

　　當氣體壓力提升時，隔膜會變得略圓，使電容減小。傳感

　　器將檢測到電容變化，并基于磚利的電荷平衡原理，通過

　　Setra 獨特的定制集成電路將其轉換為高精度的線性直流

　　電信號。

　　Setra 所有的超高純系列產品都基于 Setra成熟的電容傳

　　感技術制造，能提供幾乎不受 EMI/RFI干擾的高精度、穩

　　定的電壓或電流輸出信號。

217

型的技術規格

性能數據

　　jing確RSS*（恒定溫度下）±0.25%全量程或讀數±1.0%

　　非線性，BFSL±0.15%全量程

　　滯后0.20%全量程

　　非重復性0.02%全量程

　　熱效應**

　　補償范圍oF(℃)+15到+150（-9到+65）

　　零點漂移%FS/100oF(50℃)2.0(1.8)

　　范圍漂移%FS/100oF(50℃)2.0(1.8)

　　*非線性、非重復性和遲滯的RSS（和方根）值。

　　**在額定70oF下校驗過的設備。根據此數據而計算的**溫度誤差。

環境數據

　　溫度

　　工作溫度*oF(℃)-40到+185（-40到+85）

　　儲存溫度oF(℃)-40到+185（-40到+85）

　　*工作溫度僅是電子設備的溫度Ji限。受壓媒介的溫度可能要高或低很多。

物理描述

　　外殼不銹鋼

　　電氣連接6ft.多芯電纜，Bayonetor

　　D-型接頭

　　壓力接頭下安裝“C”密封

　　通風通過零點和范圍接近螺釘

　　重量6.5oz(184g)

電氣數據（電壓）

　　電路3根導線（Exc、Out、Com）

　　激勵10至30VDC（5VFSO）

　　13至30VDC（10VFSO）

　　輸出*0至5VDC或0.2至5.2VDC**

　　0至10VDC或0.2至10.2VDC**

　　電流消耗<8mA

　　*校準精度為50Kohm負荷，可操作5000ohm或更大的負荷。

　　**零點輸出的出廠設置在±25mV之內（限5VDC輸出）

　　或±50mV(限10VDC輸出)。

　　**范圍（全量程）輸出的出廠設置在±25mV之內

　?。ㄏ?VDC輸出）或±50mV(限10VDC輸出)。

電氣數據（電流）

　　電路2根導線

　　輸出*4至20mA**

　　外部負荷0至800Ohm

　　**電源電壓(VDC)=10+0.02x（接收器正Ji導線的電阻）。

　　**電源電壓(VDC)=30+0.004x（接收器正Ji導線的電阻）。

　　*出廠時以24VDC回路電壓和一個250ohm負荷，進行校準。

　　**零點輸出的出廠設置在±0.08mA之內。

　　**范圍（全量程）輸出的出廠設置在±0.08mA之內。

壓力媒介

　　與316L不銹鋼相兼容的液體或氣體。

　　產品規格如有變更，恕不另行通知。