光柵測微傳感器主要用于高精度測量。使用時除保證環境條件外，正確的安裝與使用不僅保證測量精度，還能延長使用壽命。光柵測微傳感器正確安裝位置是測桿朝下或水平放置。安裝固定方式有兩種：①以螺釘固定，固定孔中心距為22±0.2mm。②以①15軸夾緊。安裝固定后，測桿中心線垂直于被測工件。

　　使用時，測頭接觸基面，數顯表清零，輕輕提起測桿，當測頭接觸被測工件表面時，數顯表顯示值就是測量值。切忌快推或快速釋放測桿，以免損壞光柵或因撞擊影響傳感器精度。