NanoXSpot微焦點測試儀，NanoXSpot焦點測試儀用于對光斑尺寸 <100 μm 的 X 射線管進行質量保證，根據 prEN 12453-6、prEN 12453-7 評估焦點尺寸 <100 μm 和光斑形狀
歐洲計量創新與研究計劃項目開發了新的 NanoXSpot (NxS) 測量儀，具有線組、西門子星形和孔圖，用于測量小至 100 納米的聚焦光斑
計算機斷層掃描 (CT)可以根據從物體周圍不同角度拍攝的一系列 X 射線圖像重建物體的體積數據集，這項技術被廣泛用于醫學中的患者診斷。此外，它還被用于航空航天和電子等行業的無損檢測、缺陷與內部結構的評估以及產品尺寸的驗證。這些行業對檢測分辨力的要求小至納米級。
隨著電子設備的小型化變得越來越普遍，以及隨著新技術（如電動汽車）的出現和航空工業中輕質化合物的使用，對 5微米或更小分辨力（大約人類頭發絲寬度的 1/10）的 CT 測量的需求日益增加。X 射線管的光斑尺寸直接影響到測量分辨力。但是，對于5微米以下的 X 射線管光斑尺寸，沒有國際公認的標準或測量方法。X 射線設備制造商采用自有的測量方法導致了不一致的結果。因此，研究人員正在開發基于可溯源表征的測量儀來確定光斑大小、形狀和位置的新方法，并將作為這些光斑測量的國際公認標準引入。
歐洲計量創新與研究計劃（EMPIR）項目《對光斑小至100納米的 X 射線管焦斑尺寸的測量 （NanoXSpot，18NRM07）》正在開發新的標準實踐，以比目前更高的準確度水平表征 X 射線焦斑。
