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TMC/STACIS? III/主動振動隔離系統

 
 
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品牌 TMC
型號 STACIS? III
過期 長期有效
更新 2023-08-02 16:03
 

青島森泉光電有限公司

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品牌:TMC

型號:STACIS? III

STACIS?III是zui 先 jin的主動振動隔離系統。采用先進的慣性振動傳感器,復雜的控制算法,和zui 先 jin的壓電致動器。STACIS通過連續測量地板活動、擴大和收縮壓電致動器過濾地板振動來進行實時隔離振動。

最初被設計用于先進半導體工廠的精密顯微光刻、計量和檢測設備的隔振,STACIS現在是嘈雜環境中敏感儀器的行業標準解決方案,包括但不局限于半導體晶圓廠、失效分析實驗室、納米技術研究、納米加工設備和材料研究。

STACIS III包括一個新型改進的數字控制器----DC - 2020。它的前后面板上有新型雙核處理器,以太網和USB串口,這個新型先進控制系統為用戶提供了一個現代的、易于使用的圖形用戶界面(GUI)。

擁有在世界各地的數百個成功安裝案例,STACIS對于大部分振動敏感儀器來說都是zui 理 xiang的振動消除系統。


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