陶瓷壓力傳感器
原理:壓力直接作用在陶瓷膜片的正面,使膜片輕微變形。厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面,連接形成惠斯通電橋(閉合電橋)。由于壓阻電阻器的壓阻效應,電橋產生與壓力以及激勵電壓成比例的高度線性的電壓信號。標準信號根據壓力范圍的不同標定為2.0/3.0/3.3mV/V,可以與應變一致。通過激光標定,該傳感器具有較高的溫度穩定性和時間穩定性。傳感器自帶0~70℃的溫度補償,可與大多數介質直接接觸。
用途:陶瓷是公認的高彈性、耐腐蝕、耐磨損、耐沖擊、耐振動的材料。陶瓷的熱穩定性及其厚膜電阻可使其工作溫度范圍高達-40~135℃,在測量中具有較高的精度和穩定性。電氣絕緣度2kV,輸出信號強,長期穩定性好。高性能、低價格的陶瓷傳感器將是壓力傳感器的發展方向。在歐美,有完全取代其他類型傳感器的趨勢。在中國,越來越多的用戶使用陶瓷傳感器取代擴散硅壓力傳感器。
藍寶石壓力傳感器
原理:利用應變電阻工作,采用硅藍寶石作為半導體敏感元件,具有無可比擬的計量特性。該傳感器的電路可以保證應變橋電路的供電,并將應變橋的不平衡信號轉換成統一的電信號輸出。在絕對壓力傳感器和變送器中,與陶瓷基玻璃焊料相連的藍寶石片起到彈性元件的作用,將測得的壓力轉化為應變片的形變,從而達到壓力測量的目的。