等離子清洗機的結構主要分為三部分，即控制單元、真空室和真空泵。

　　首先，控制單元

　　國內使用的等離子清洗機，包括進口的，有四種控制方式:半自動控制、全自動控制、PC電腦控制和LCD觸摸屏控制。

　　控制單元分為兩部分:

　　1)電源:主要電源頻率有三種，分別是40KHz、13.56MHz和2.45GHz，其中13.56MHz需要電源匹配器。

　　2)系統控制單元:分為按鈕控制(半自動、全自動)、電腦控制、PLC控制(液晶觸摸屏控制)三種。

　　二、真空室:

　　真空室主要分為兩種材料:

　　1)不銹鋼真空室。

　　2)應時腔。

　　三、真空泵:

　　真空泵分為兩種類型:

　　1)干式泵。

　　2)油泵。

　　等離子清洗后清洗對象干燥，無需干燥即可送入下一道工序?？梢蕴岣哒麠l生產線的加工效率；

　　等離子清洗可以處理各種材料，無論是金屬、半導體、氧化物，還是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環氧樹脂等聚合物)。所以特別適合不耐熱不耐溶劑的材料。還可以選擇性地部分清洗材料的整體、局部或復雜結構；

　　真空等離子清洗機技術作為一種新的材料表面改性方法，在等離子清洗機中以其能耗低、污染小、處理時間短、效果明顯而受到人們的關注。在等離子清洗機的眾多改造方法中，低溫等離子清洗機近年來發展迅速，等離子清洗機與其他方法相比有很多優點。