應變式壓力傳感器的原理是由外界壓力(或拉力)引起應變材料的幾何形狀(長度或寬度)發生變化,然后材料的電阻發生變化。外力的大小可以通過檢測這種電阻變化來測量。
壓阻壓力傳感器通常是半導體壓力敏感材料。半導體壓阻式傳感器在受到外力后,其自身的幾何形狀幾乎沒有變化,但其晶格參數發生了變化,從而影響了帶隙寬度。即使是很小的帶隙寬度變化也會引起載流子密度的很大變化,最終導致材料電阻率的變化。
可以看出,雖然兩種材料都因外力的變化而表現出電阻變化,但原理不同。此外,應變材料對外力的敏感度遠低于半導體壓阻材料,后者的敏感度約為前者的100倍。應變材料的特性受溫度影響較小,而半導體壓阻材料對溫度敏感。應變式壓力傳感器原理上是由于外界壓力(或拉力)改變應變材料的幾何形狀(長度或寬度),進而改變材料的電阻。外力的大小可以通過檢測這種電阻變化來測量。
壓阻式壓力傳感器通常是半導體壓敏材料。半導體壓阻式傳感器受到外力后,幾何形狀幾乎不變,但其晶格參數發生變化,從而影響帶隙寬度。即使是很小的帶隙寬度變化也會引起載流子密度的很大變化,最終導致材料電阻率的變化。
可以看出,雖然兩種材料都因外力的變化而表現出電阻的變化,但原理不同。此外,應變材料對外力的敏感度遠低于半導體壓阻材料,約為前者的100倍。應變材料的特性受溫度影響較小,而半導體壓阻材料對溫度敏感。