根據市場情況，精秤總結了傳感器的四個發展方向。微機械壓力傳感器也是一種傳感器。微機械壓力傳感器是開發較早的微機械產品，也是微機械技術中成熟的產業化產品。近年來，MEMS壓力傳感器的技術并沒有提高，功能越來越全面，應用范圍也越來越廣泛。目前微機械壓力傳感器的發展方向主要分為四個方向。下面給大家介紹一下四個方向。

一種是將敏感元件與信號處理、校準、補償電路和微控制器集成，研制智能顯微視覺機械壓力傳感器。

二是進一步提高靈敏度，實現低量程的微機械壓力傳感器。這種微壓傳感器用于脈動風壓、流量和密封泄漏識別等領域。

三是提高工作溫度，研制高低溫微機械壓力傳感器。由于Pn結的溫度容差，壓阻式微機械壓力傳感器只能在120度以下的工作溫度下使用。但在許多領域迫切需要在高低溫下正常工作，如磁鍋爐、管道、高溫容器、井下壓力和各種發動機腔體中的壓力。目前，高溫微機械壓力傳感器的研究主要包括合金薄膜濺射微機械壓力傳感器、高溫光纖微機械壓力傳感器、高溫電容式微機械壓力傳感器等。

第四是研制諧振式微機械壓力傳感器。諧振式微機械壓力傳感器不僅具有普通微機械壓力傳感器的優點，還具有準數字信號輸出、抗干擾能力強、分辨率和測量精度高等優點。硅諧振式微機械壓力傳感器的激勵檢測方法包括電磁激勵、靜電激勵電容、逆壓電激勵、電熱激勵壓阻和光熱激勵/光信號。其中，電熱激勵/壓阻拾振的諧振式微機械壓力傳感器價格低廉，與工業IC工藝兼容，可將敏感元件和信號調理電路集成在一塊芯片上，具有誘人的應用前景。這種傳感器具有高的溫度交叉靈敏度， 為此，設計了一種具有溫度補償功能的復合諧振式微機械壓力傳感器。

該諧振器由制作在同一硅片上的微橋諧振器和微懸臂梁諧振器組成。微橋諧振器和微懸臂梁諧振器的材料相同，厚度相同或相近，制造工藝完全相同，因此可以同步響應溫度變化。通過數據融合技術，微懸浮hip梁諧振器的諧振頻率作為溫度敏感元件，實時補償溫度變化對微橋諧振器諧振頻率的交叉敏感性。補償諧振MEMS壓力傳感器的溫度交叉靈敏度降低了兩個數量級。光和熱激勵的諧振式微機械壓力傳感器拾取光信號的振動，具有抗電磁干擾和防爆的優點， 是電熱激勵諧振式微機械壓力傳感器拾取壓阻振動的有益補充，但需要復雜的光學系統，不易實現，成本高。力傳感器是工業實踐中常用的一種傳感器，而我們通常使用的壓力傳感器主要是利用壓電效應制成的，也稱壓電式傳感器。

我們知道晶體是各向異性的，非晶是各向同性的。有些晶體介質在一定方向上受到機械力變形時會產生極化效應。當機械力撤除后，會回到不帶電的狀態，即在壓力下，有些晶體可能會產生一種電效應，這種電效應稱為極化效應。根據這一效應，科學家們開發了壓力傳感器。

壓電傳感器中主要使用的壓電材料包括有石英、酒石酸鉀鈉和磷酸二氫胺。其中石英（二氧化硅)是一種天然晶體,壓電效應就是在這種晶體中發現的,在一定的溫度范圍之內,壓電性質一直存在,但溫度超過這個范圍之后,壓電性質完全消失（這個高溫就是所謂的"居里點")。由于隨著應力的變化電場變化微?。ㄒ簿驼f壓電系數比較低),所以石英逐漸被其他的壓電晶體所替代。而酒石酸鉀鈉具有很大的壓電靈敏度和壓電系數,但是它只能在室溫和濕度比較低的環境下才能夠應用。磷酸二氫胺屬于人造晶體,能夠承受高溫和相當高的濕度,所以

已經得到了廣泛的應用。

在現在壓電效應也應用在多晶體上,比如現在的壓電陶瓷,包括鈦酸鋇壓電陶瓷、pzt、鈮酸鹽系壓電陶瓷、鈮鎂酸鉛壓電陶瓷等等。

壓電效應是壓電傳感器的主要工作原理,壓電傳感器不能用于靜態測量,因為經過外力作用后的電荷,只有在回路具有無限大的輸入阻抗時才得到保存。實際的情況不是這樣的,所以這決定了壓電傳感器只能夠測量動態的應力。

壓電傳感器主要用于加速度、壓力和力的測量。壓電加速度計是一種常用的加速度計。它具有結構簡單、體積小、重量輕、使用壽命長的優點。壓電式加速度計已廣泛應用于飛機、汽車、船舶、橋梁和建筑物的振動和沖擊測量，特別是在航空和航天領域。壓電傳感器也可以用來測量發動機的內燃壓力和真空度。它還可以用于軍事工業，例如測量槍支子彈在膛內發射瞬間的膛壓變化和槍口沖擊波壓力。它可以用來測量大壓力和小壓力。

壓電傳感器也廣泛用于生物醫學測量。例如，心室導管麥克風由壓電傳感器制成。因為測量動態壓力是如此普遍，壓電傳感器被廣泛使用。

除了壓電傳感器，還有利用壓阻效應制作的壓阻傳感器、利用應變效應的應變傳感器等。這些不同的壓力傳感器通過使用不同的效果和不同的材料，可以在不同的場合發揮其獨特的作用。