半導體變阻器型進氣歧管壓力傳感器(圖

1)它由壓力轉換元件(硅膜片)和放大轉換元件輸出信號的混合集成電路組成。壓力轉換元件是由半導體壓阻效應制成的硅膜片。硅膜片的一面是真空室，另一面通入進氣歧管壓力，所以進氣歧管內的壓力越高，硅膜片的變形越大，其變形與壓力成正比。附著在薄膜上的應變電阻器的電阻與其變形成正比變化。利用這一原理，進氣歧管中的壓力變化可以轉換成電信號。

真空波紋管驅動的可變電感進氣歧管壓力傳感器主要由波紋管、鐵芯、感應線圈和電子電路組成。波紋管由薄金屬板焊接而成，內部抽真空，外部與進氣歧管連通。外界壓力的變化會使波紋管膨脹和收縮。放置在感應線圈內的鐵芯與膜片相連。感應線圈由兩個繞組組成，一個繞組與振蕩電路相連，在線圈周圍產生交流電壓和磁場，另一個繞組是感應繞組，產生信號電壓。當進氣歧管壓力變化時，膜片帶動鐵芯在磁場中運動，使感應線圈產生的信號電壓相應變化。信號電壓經電子電路檢測、整形、放大后作為傳感器的輸出信號送至ECU。

半導體壓電阻抗擴散壓力傳感器在薄片表面形成半導體變形壓力，薄片受外力(壓力)變形產生壓電阻抗效應，使阻抗變化轉化為電信號。

靜電電容壓力傳感器通過使玻璃的固定電極和硅的可移動電極相對而形成電容，并將可移動電極因外力(壓力)而變形所引起的靜電電容的變化轉換成電信號。

(E8Y的工作原理是靜電電容模式，其他型號采用半導體模式)。