硅柱制造流程:
首先,將高純度多晶硅融化,形成液態的硅。接著,在單晶硅與液體表面接觸的過程中,一邊旋轉一邊緩慢地電子電容回收向上拉起。為了保持硅原子的正確排列,我們使用單晶硅作為排頭,讓后來的原子知道如何正確排列。當液面上的硅原子凝固后,排列整齊的單晶硅柱便完成了。
制造大尺寸晶圓的難度較大。8寸和12寸的晶柱分別代表我們生產出的不同尺寸的硅柱,它們的長度分別為12cm和8cm,表面經過處理并切成薄圓片。要制作出大而扎實的8寸晶圓,需要控制旋轉拉起的速度和溫度。而12寸晶圓的制造難度更高,因為其尺寸更大,對速度和溫度的控制要求更高。尺寸更大的電子垃圾回收過程對速度和溫度的要求更高,因此制作高品質12寸晶圓的難度較大。
臺灣再生晶圓行業看,目前主要的3家晶圓再生企業,包括中砂、辛耘、升陽,都是伴隨著臺灣下游晶圓廠發展成長起來的。2019年,這些公司在臺灣再生晶圓市場的產能總計約60萬片,其中升陽月產能為24萬片,市場占有率為40%。中砂月產能為18萬片,市場占有率為30%。辛耘市場占有率約為20%。2019年中砂、辛耘、升陽營業收入分別為11.3億、9.2億、6.2億元。
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