半導體產業是我國經濟的重要支柱之一,然而,在半導體關鍵設備領域,我國仍有許多為人稱道的專精細分市場的企業,例如離子注入機領域的北京中科信,鍵合機領域的中電科、深圳創異佳、大族激光, SoC測試機領域的華峰測控等。這些企業在我國市場上占據重要地位,但總體上,我國半導體產線設備的全面國產化之路仍任重道遠。目前,我國晶圓前道環節的刻蝕配套率僅有20%,PVD為10%-15%,熱處理為15%-20%,清洗設備占據20%,CMP為15%,去膠設備占據80%,這些環節的國產化率相對較高,均高于15%,但在當前國際制約越來越頻繁的情況下,我國企業在設備配套率方面尚不足以應對。此外,如光刻機、涂膠顯影、CVD、ALD、離子注入、量測等設備配套率,以及后道封測環節的測試機、分選機、探針臺的本土配套率均不足5%的環節。
為了有效解決這些問題,我國政府應采取積極措施,加大對半導體產業的扶持力度,鼓勵企業加大技術創新力度,提高設備國產化水平。同時,相關部門應制定相應的政策和規范,引導企業積極參與廢舊電器電子產品處理工作,促進資源的高效利用和環境保護。
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