磨拋機的簡化磨削和拋光特性

　　2014年8月1日星期六

　　為了簡化次擺線研磨和拋光點分布規律，并在這三條平行線上取三條平行線，在上下平行線上取密集的一組點。之后以這些點為圓心，取一個打磨拋光半徑或以上三條平行線為半徑。這些相互重疊的網狀圖案將被稱為簡化的研磨和拋光特性曲線。

　　為了得到一條好的磨拋機曲線，準確的辦法是得到磨拋機在運動中的特性曲線，可以用一條相互平行的直線上的一點代替其軌跡上的每一點，然后以該點為圓心，以磨拋機的半徑為圓。

　　然后用這些點的網格作為元素來代替磨拋軌跡的網格，也可以發現它的一個很大的缺點就是偏差很大，主要是因為工件的運動軌跡是一條連續的圓弧線，實際上是一次性的擺線特征。其主要特點是沿X軸兩側密集，中間稀疏。

　　簡化的研磨拋光機研磨和拋光特性曲線

　　這是畫一條直線上幾個點的研磨拋光圖的基礎。因為繪圖時考慮了磨拋機的拋光軌跡，忽略了實際符合內擺線軌跡的點的釋放。因此，簡化拋光特性曲線的網格與實際復合內擺線軌跡的網格差別較大，只能在一定程度上反映其軌跡的主要特征。

　　例如，當硅片拋光機作用于硅片時，按照上述方法，硅片的拋光軌跡實際上只是硅片拋光軌跡中的一個粗糙特征，合成運動圖簡化了軌跡的特征曲線。

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